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臺(tái)式掃描電鏡的8大特點(diǎn)

發(fā)布時(shí)間: 2021-12-16  點(diǎn)擊次數(shù): 1320次
   臺(tái)式掃描電鏡早在1935年便已經(jīng)被提出來了。1942年,英國首先制成一臺(tái)實(shí)驗(yàn)室用的掃描電鏡,但由于成像的分辨率很差,照相時(shí)間太長,所以實(shí)用價(jià)值不大。經(jīng)過各國科學(xué)工作者的 努力,尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展,到1956年開始生產(chǎn)商品掃描電鏡。現(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
  掃描電鏡的特點(diǎn):
 ?。?)能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm*80mm*50mm。
 ?。?) 樣品的制備過程簡單,不用切成薄片。
 ?。?) 樣品可以在樣品室中作三維空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察。
 ?。?) 景深大,圖像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
  (5) 圖像的放大范圍廣,分辨率也比較高??煞糯笫畮妆兜綆资f倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達(dá)3nm。
 ?。?) 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
 ?。?) 能夠進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察(如動(dòng)態(tài)拉伸、壓縮、彎曲、升降溫等)。
 ?。?) 在觀察形貌的同時(shí),還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)做微區(qū)成分及晶體學(xué)分析。
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