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  • FM-PR-PDS掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)
    FM-PR-PDS掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)

    掩膜版|保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)為掩膜版、掩膜版保護(hù)膜以及基板(襯底)制造工藝,提供高通量的表面顆粒污染檢測服務(wù)。 該系統(tǒng)對粒徑大于 0.1µm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高效且提供服務(wù)的選擇。它能以手動或自動的操作方式,以及較低的維護(hù)成本,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測系統(tǒng)。

    更新時(shí)間:2025-06-23型號:FM-PR-PDS瀏覽量:493
  • FM-W-PDS晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)
    FM-W-PDS晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)

    Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS),專為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測量而設(shè)計(jì),主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測,也可用于顯示市場等基板檢測。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場(FOV)掃描區(qū)域,支持上下表面檢測。其光學(xué)設(shè)計(jì)使產(chǎn)品在計(jì)量過程中無需移動即可完成檢測。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制,或直接集成至產(chǎn)線。

    更新時(shí)間:2025-06-23型號:FM-W-PDS瀏覽量:442
  • FM-PS-SAS-V01儀器表面顆粒物分析儀
    FM-PS-SAS-V01儀器表面顆粒物分析儀

    Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀,是一款基于“膠帶粘取”采樣技術(shù)的表面污染檢測工具,可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表面(包括難以觸及區(qū)域和高粗糙度表面)實(shí)現(xiàn)靈活采樣,且不會殘留可檢測的痕跡。該設(shè)備可在數(shù)秒內(nèi)完成 225 mm2 采樣區(qū)域的分析,確??焖佾@得精準(zhǔn)檢測結(jié)果。搭配 2 英寸晶圓支架,也可對沉降顆粒進(jìn)行檢測,滿足跨行業(yè)復(fù)雜

    更新時(shí)間:2025-06-23型號:FM-PS-SAS-V01瀏覽量:430
  • FM-PS-PFS-V02環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀
    FM-PS-PFS-V02環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀

    Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀,專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā),支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集,精準(zhǔn)測量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng),幫助客戶實(shí)現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級,為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù)。

    更新時(shí)間:2025-06-23型號:FM-PS-PFS-V02瀏覽量:399
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